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潔凈室方面的小知識

潔凈室方面的小知識

2016-12-28 河南米凈瑞發

潔凈室(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室。 是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,看著初中高效過濾器,選著高效送風口,還想知道最好的FFU 而所給予特別設計之房間。即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

潔凈室的分類
   1.亂流式(Turbulent Flow): 即空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。 其優點:構造簡單、系統建造成本,潔凈室之擴充比較容易, 空氣凈化公司 在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。 缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。

    2.層流式(Laminar): 層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風,河南鄭州凈化工程 此型式適用于潔凈室等級需定較高之環境使用,一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種: (1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。 優點:構造簡單,運轉后短時間內即可變成穩定。 缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。 (2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹, 河南鄭州凈化設備 可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。 優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易為作業狀態或作業人員所影響。 缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。

   3.復合式(Mixed Type): 復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。 (1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質,ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點:彈性擴充容易;維修設備時可在維修區輕易執行。 (2)潔凈管道(Clean Tube):將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上??粗踔懈咝н^濾器,選著高效送風口,還想知道最好的FFU 因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。 (3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。 另外還有潔凈工作臺和潔凈工作棚等。

潔凈室的構成
潔凈室的一般構成包括:(1)天花板系統:包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。 (2)空調系統:包括空氣艙、過濾器系統、風車等。 (3)隔墻板(Partitional wall):包括窗戶、門。 (4)地板:包括高架地板或防靜電舒美地板。 (5)照明器具:包括日光燈、黃色燈管等。

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